微細加工技術

本書介紹了機械加工中廣義的微細加工技術，以及狹義的微細加工技術在積體電路及硅太陽能電池製造領域的應用，使讀者能夠準確地理解和掌握微細加工技術的基礎知識和常用微細加工的方法、基本原理及應用。全書共6章，包括緒論、微細切削加工技術、微細特種加工技術、硅材料的製備及加工、積體電路製造技術和硅太陽能電池製造。

本書採用雙色印刷，各種微細加工方法均有對應視頻展示其原理及實際應用，120余段視頻配以對應的二維碼，讀者只需利用移動設備掃描對應知識點的二維碼即可線上觀看。為方便教師授課，本書配套附有主要視頻內容的教學參考課件。本書適合作為高等工科院校機械類專業研究生、本科生及高職院校相關專業學生的“微細加工技術”“半導體加工技術”“微細特種加工技術”等課程的教材或輔助教材，也可以作為相關領域工程技術人員瞭解微細加工技術的參考書。

劉志東

南京航空航太大學機電學院，教授，博士生導師，中國特種加工學會常務理事，全國電火花線切割專業委員會副主任委員，江蘇省特種加工學會理事長。長期從事電火花加工、鐳射表面處理、電化學沉積等特種加工技術的教學與研究工作，近5年發表學術論文100餘篇，SCI、EI收錄二十餘篇，獲發明專利10項，編寫教材多本。